產(chǎn)品中心
CIF專注材料表面處理技術(shù),為客戶提供專業(yè)清洗、去膠、刻蝕、涂層等方面儀器裝備和應(yīng)用工藝解決方案!產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品詳情
旋涂機(jī)原理:
旋涂機(jī)(spin coater)是一種薄膜制備設(shè)備。在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,在離心力作用下,使膠液均勻地涂覆在基片表面上形成均勻的薄膜。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。


產(chǎn)品特點(diǎn)
u 精準(zhǔn)驅(qū)動(dòng):搭載閉環(huán)控制伺服電機(jī),搭配數(shù)字式增速信號(hào)反饋,轉(zhuǎn)速均勻精準(zhǔn),穩(wěn)定可靠,從源頭保障勻膠一致性。
u 智能操控:配備7 寸全彩中英文觸摸屏,支持智能可編程操控,標(biāo)配 20 組程序,單程序最多 10 個(gè)勻膠梯度,大可擴(kuò)展至 100 個(gè)梯度,輕松滿足復(fù)雜工藝。
u 高效旋涂:內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,大幅提升旋涂均勻度,兼容多尺寸基片。真空 / 非真空雙模式卡盤,一機(jī)兩用,靈活適配不同樣品。
u 多重防護(hù):托盤采用三重密封結(jié)構(gòu),強(qiáng)效防進(jìn)膠,保護(hù)核心電機(jī),延長設(shè)備壽命。
u 防腐耐蝕:機(jī)身不銹鋼噴塑、腔體 PTFE 材質(zhì)、托盤選用聚丙烯(NPPH),耐酸堿、防腐蝕,適配嚴(yán)苛工況.
u 環(huán)保潔凈:集成廢膠收集系統(tǒng),減少污染殘留,保持作業(yè)環(huán)境潔凈。
u 靈活拓展:支持選配氮?dú)獯祾?/span> / 保護(hù)、自動(dòng) / 簡易滴膠裝置,拓展性強(qiáng)。
u 廣泛適用:兼容硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等多種基材,應(yīng)用范圍廣闊。
2025-12-26
2024-07-26
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